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驰明普陶瓷 CMP 抛光液:高平整易清洗,赋能精密陶瓷制造提质增效

发布时间:2026-06-10      来源:网络


精密陶瓷(氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅等)具有耐高温、耐腐蚀、高硬度、绝缘性优异、导热性好等特性,是半导体、电子信息、航空航天、新能源、医疗器械等领域关键功能材料。精密陶瓷脆性大、硬度高,传统抛光工艺易出现崩边、裂纹、表面粗糙、清洗困难等问题。驰明普(CMP‑Pro)陶瓷 CMP 抛光液依托化学机械协同技术,实现 “高平整、易清洗、低损伤” 超精密抛光,成为精密陶瓷制造核心耗材。

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陶瓷抛光难点:硬度高(莫氏 7–9),机械研磨难度大;脆性大,抛光压力过大易崩边 / 开裂;表面微孔多,磨料残留 / 污渍附着难清洗。CMP 技术通过 “化学预软化 + 柔性机械研磨” 协同,完美适配陶瓷特性:抛光液中化学活性组分温和侵蚀表面,降低硬度形成软化层,纳米磨料柔性去除,避免硬性摩擦损伤,同时配方优化确保高平整、易清洗。

核心优势突出:柔性抛光配方(纳米 SiO₂磨料 + 温和碱性体系,精准控制腐蚀速率,避免过腐蚀,柔性研磨杜绝崩边 / 裂纹,Ra≤0.05 nm,平整度高、尺寸公差精准);易清洗技术(添加专用分散剂 / 解胶剂,降低磨料吸附力,抛光后无残留 / 污渍,清水冲洗即可,降低后处理成本);高稳定易用性(溶液分散均匀,长期存放不分层,使用前搅匀即可,适配自动化生产线)。

应用场景广泛:半导体陶瓷(基板 / 吸盘 / 封装基座,高平整、易清洗、无残留);电子陶瓷(电容 / 电感 / 传感器基片,提精度、稳性能);结构陶瓷(刀具 / 轴承 / 密封件,提硬度、增寿命);生物陶瓷(植入物 / 牙科材料,高生物相容、符合医疗洁净);光学陶瓷(透镜 / 窗口片,高透光、高平整)。

相较传统工艺,驰明普陶瓷 CMP 抛光液良率从 80% 升至 99%+、效率提 30%、清洗成本降 50%,批次稳定,适配大批量量产,助力精密陶瓷企业降本增效。