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驰明普硅片CMP抛光液国产化提速:技术创新驱动抛光产业链升级

发布时间:2026-06-02      来源:网络


全球半导体产能扩张与制程升级并行,12 英寸硅片需求持续攀升,带动 CMP 抛光材料市场高速增长。驰明普(CMP‑Pro)硅片 CMP 抛光液依托自研技术实现性能赶超进口,成为国产半导体材料 “突围” 的关键力量。

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硅片表面质量要求严苛:Ra≤0.1 nm、无划痕、无残留、全局平整度<1 μm,否则将直接影响光刻、布线与器件可靠性。长期以来,高端抛光液依赖进口,存在成本高、交期长、适配差、响应慢等痛点,制约国内产业自主可控。驰明普聚焦行业痛点,完成从 “跟跑” 到 “并跑” 的跨越。

驰明普核心技术优势集中在三点:高纯纳米磨料制备化机协同配方低缺陷控制。磨料采用高纯度 SiO₂,分散工艺实现 72 小时无分层沉淀,车间操作简单便捷;化学体系实现 “温和氧化 + 精准研磨”,规避过腐蚀与机械损伤,兼顾效率与良率;添加专用缓蚀与分散组分,抑制氧化过度,显著降低微缺陷率,适配高端硅片超精密抛光。

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应用场景覆盖全产业链:逻辑 / 存储芯片多层互连平坦化、210/182 mm 光伏硅片损伤层去除、IGBT/MOSFET 功率器件双面精抛。产品通过RoHS 环保认证,不含重金属与卤素,废液处理成本低,契合绿色制造趋势。

市场数据显示,2024 年全球 CMP 抛光材料规模突破 50 亿美元,硅基抛光液占比超 35%,中国市场年增速超 18%。驰明普凭借高性价比、稳定供货、定制化服务快速进入头部晶圆厂供应链,渗透率持续提升,加速进口替代进程。

未来,驰明普将持续加大研发投入,聚焦纳米材料、界面化学与工艺适配,完善产品矩阵,提升全球竞争力,助力中国从半导体材料大国迈向强国。