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低固含量环保CMP抛光液研发趋势 降低企业危废处理成本

发布时间:2026-08-05      来源:网络


2026 年各地危废处置收费标准上调,抛光废液、废浆料处置成本大幅上涨,高固含量传统抛光液会产生大量固体危废,增加工厂环保支出;同时固含量过高易造成颗粒团聚、盘面残留,影响抛光均匀度,低固含量、高分散型环保抛光液成为行业全新研发主流方向。

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传统高固抛光液两大短板:1. 废液固形物含量高,危废处置费用提升 30%-50%;2. 储存过程高浓度磨料快速沉降,需要高频搅拌,产线人工成本增加;3. 过量磨料残留在抛光垫、基材表面,清洗药剂消耗同步上升。海外低固抛光液价格溢价严重,国内厂商相关技术储备不足。

驰明普研发低固高分散系列抛光液,通过多级分散助剂复配,在降低固相磨料添加量前提下,维持同等材料去除速率,废液固体残渣大幅减少,危废处置成本显著下降;分散体系抑制颗粒团聚,常温储存稳定性不受低固配方影响,6 个月无明显沉降,产线搅拌工时大幅缩减。该系列覆盖通用半导体、蓝宝石、陶瓷抛光全品类,同步配套低泡沫、低残渣环保清洗剂,整套工艺废液处理压力大幅降低,适配严格危废管控工厂。

环保危废政策持续收紧,下游制造企业优先选择低固、低残渣抛光耗材,低固配方成为供应商核心差异化指标。驰明普持续优化低固抛光液研磨分散体系,兼顾抛光性能与环保成本,贴合制造企业绿色生产需求。