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先进封装产业扩容带动 CMP 耗材增量,TSV/RDL 工艺拉动多品类抛光清洗液需求增长

发布时间:2026-07-23      来源:网络


Chiplet 芯粒、3D 堆叠、TSV 硅通孔、RDL 再布线层先进封装技术快速普及,国内长电科技、通富微电、华天科技等封测大厂持续扩建先进封装产线,先进封装成为 CMP 抛光、清洗耗材全新增长极,2026 年先进封装配套抛光液市场规模同比增长 39.2%,中性专用 CMP 清洗液需求增速超 40%,成为行业重要增量来源。

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传统成熟封装工艺对 CMP 耗材需求有限,而先进封装制程需要对硅通孔、金属铜柱、陶瓷载具、不锈钢治具进行多道次化学机械抛光,工序复杂度大幅提升,抛光液使用品类、消耗量同步上涨。先进封装工艺对耗材指标要求区别于前道晶圆制造:抛光液需低金属离子、低颗粒残留,清洗液优先选用中性温和配方,避免腐蚀精密载具、超薄晶圆结构,通用酸碱清洗液已无法适配先进封装产线需求。

硅片抛光对比图.png

先进封装配套耗材分为两大应用场景:一是晶圆级 TSV、RDL 铜互连抛光,需求铜系、氧化物专用抛光液与中性后清洗液;二是封装载具、工装治具抛光清洗,涵盖氧化铝陶瓷载具、304/316 不锈钢治具,对应陶瓷 CMP 精抛液、不锈钢专用抛光清洗液两大细分产品。两类场景耗材需求同步上涨,带动多材质专用抛光清洗液市场扩容。

海外高端先进封装抛光清洗耗材价格高昂,交付周期长达 4-8 周,国内封测企业为保障供应链安全,加速导入国产成套耗材方案。深圳万稳实业驰明普产品矩阵全面覆盖先进封装全场景需求:蓝宝石、陶瓷抛光液适配光学封装载具;不锈钢抛光清洗液适配半导体精密工装;中性光学基材清洗剂适配超薄晶圆抛光后清洗,可提供一站式耗材配套,减少企业多供应商采购管理成本。

从产业布局来看,国内先进封装产能集中在长三角、珠三角,深圳作为华南半导体产业核心城市,聚集大量封测配套企业,本地耗材厂商具备快速试样、上门工艺调试、短期交付的区位优势。驰明普依托深圳宝安自有厂区,可快速对接周边先进封装企业,根据客户 TSV、RDL 工艺参数定制抛光液浓度、清洗液稀释比例,优化整套抛光清洗工艺流程,提升封装良率。

行业机构预测,2028 年全球先进封装将额外贡献 15%-20% 的CMP耗材总需求,国内本土耗材企业需同步完善晶圆、载具、治具全品类抛光清洗产品布局,抓住先进封装产业扩张红利。未来中性环保型、低离子残留专用抛光清洗液将成为先进封装耗材主流发展方向。