公司新闻 行业动态

长效稳定型 CMP 抛光液技术分析 储存稳定性突破推动抛光液全面国产替代

发布时间:2026-07-17      来源:网络


长久以来,储存分层、颗粒沉降是制约国产 CMP 抛光液大规模替代进口产品的核心技术短板,也是下游制造企业选型时首要关注的性能指标。普通国产抛光液受分散助剂体系限制,常温存放 1 至 2 个月就会出现底部大量沉淀,使用前需要长时间人工搅拌,若搅拌不均匀,上机后极易造成衬底、晶圆批量不良;高温仓储环境下稳定性进一步恶化,企业只能少量多次采购,物流、采购成本持续增加,库存耗材报废损耗严重。海外高端抛光液虽稳定性优异,但采购成本高、定制化服务缺失,行业急需兼顾长效储存稳定与高性价比的国产抛光液解决方案。

生产车间4.png

抛光液沉降分层本质是纳米研磨颗粒受温度、离子浓度影响发生团聚,传统单一分散剂配方无法长期维持颗粒均匀分散状态。想要实现长效稳定,需要从研磨料选型、缓冲体系、模块化助剂复配多维度同步优化,研发投入门槛高、测试周期长,多数中小型耗材企业难以完成相关技术迭代。近两年头部本土企业加大稳定性研发投入,长效稳定型抛光液逐步实现量产落地,行业竞争逻辑从单纯比拼抛光速率,转向储存稳定性、长期上机一致性综合性能比拼。

生产车间5.png

深圳万稳实业驰明普研发团队历经两年配方迭代、上千组恒温老化对比测试,完成长效稳定型 CMP 抛光液全系列技术升级,搭建十二功能模块化助剂体系,针对二氧化硅、氧化铝不同研磨料搭配专属抗沉降、分散、螯合助剂组合,从分子层面抑制纳米颗粒团聚,优化 PH 缓冲体系,削弱温度波动对药剂分散状态的影响。加速老化测试数据显示,升级后抛光液常温静置 6 个月沉降厚度不足行业同类产品一半,轻微摇晃即可恢复均匀状态,产线搅拌工时大幅缩减,企业备货周期可从 15 天延长至 90 天,有效降低采购频次与库存损耗。

本次稳定性技术升级覆盖品牌全部抛光产品线:通用半导体 CMP 抛光液、碳化硅抛光液、蓝宝石及陶瓷 CMP 精抛液,配套 CMP 后清洗剂同步优化储存稳定性能。升级款产品全部开放 200ml 对比小样,下游企业可同步申领新旧版本抛光液开展平行上机测试,直观对比储存稳定性、抛光一致性差异。针对存量批量采购客户,技术团队提供产线新旧药剂切换全套工艺指导,无需大规模调整设备参数即可平稳完成迭代。

产业层面,晶圆、衬底、光学制造企业持续拉长耗材备货周期,长效稳定型抛光液市场需求快速增长,稳定性指标成为招投标、供应商准入核心考核项。业内专家表示,储存稳定性技术突破是国产 CMP 抛光液全面替代进口的关键一步,具备长效稳定配方自研能力的企业将占据市场竞争优势。驰明普持续深化分散助剂、缓冲体系相关研发,不断延长抛光液稳定储存周期,同步控制配方生产成本,为全行业提供高稳定、高性价比国产抛光耗材选择,加速推进 CMP 材料自主可控进程。