发布时间：2026-06-12 来源：网络
高端 CMP 抛光液研发涉及材料科学、化学工程、半导体工艺等多学科交叉领域，单纯依靠企业自身研发力量难以快速突破核心技术瓶颈。深圳万稳实业坚持 “产学研融合” 发展道路，近年来先后与各高校及科研机构建立长期战略合作关系，共建联合研发实验室，聚焦高端 CMP 抛光液核心技术攻关，实现科研成果快速转化，加速国产尖端 CMP 材料研发进程，破解海外技术垄断。
高校与科研机构拥有深厚的理论基础、顶尖的科研设备与高素质的科研人才队伍，而企业则具备丰富的产业经验、明确的市场需求与完善的产业化能力，产学研合作实现了优势互补、资源共享。万稳实业与合作单位共同制定研发规划，围绕第三代半导体碳化硅抛光液、先进制程硅片精抛液、特种金属环保型抛光液等 “卡脖子” 领域，设立多个重点研发项目，由高校科研团队负责基础理论研究、配方机理分析，企业研发团队负责工艺优化、小试中试、产业化验证，形成 “理论研究 - 技术攻关 - 产品落地” 的闭环研发体系。
在碳化硅 CMP 抛光液研发项目中，合作高校的材料科学团队通过分子模拟技术，深入分析碳化硅晶体结构与抛光液中磨料、化学助剂的相互作用机理，为配方设计提供理论支撑；万稳实业研发团队则结合产业化经验，优化磨料粒径分布、氧化剂浓度、分散剂配比等工艺参数，解决了碳化硅抛光效率低、表面划痕多的技术难题。双方联合研发的碳化硅精抛液，抛光后晶圆表面 Ra 值达到纳米级别，性能对标进口一线产品，已实现规模化量产并导入国内头部碳化硅厂商供应链。
为保障产学研合作实效，万稳实业投入专项资金支持联合实验室建设，配备电感耦合等离子体质谱仪、原子力显微镜、激光粒度仪等高端检测设备，为科研工作提供硬件支撑；设立 “产学研合作专项奖学金”，吸引高校优秀人才参与项目研发；邀请高校教授、研究员担任企业技术顾问，定期开展技术交流与指导，提升企业研发团队的技术水平。同时，双方建立科研成果共享机制，联合申报发明专利，截至目前已共同申报 CMP 抛光液相关专利 12 项，其中 6 项已获得授权。
产学研合作不仅加速了核心技术突破，还为企业培养了专业技术人才。通过项目合作，高校研究生、博士生深入企业参与研发实践，将理论知识与产业需求相结合，部分优秀人才在毕业后直接加入万稳实业研发团队，为企业注入新鲜血液；企业研发人员也通过参与高校科研项目，拓宽学术视野，提升理论研究能力，形成良性的人才培养循环。
当前，国内半导体材料国产替代进入关键阶段，高端 CMP 抛光液研发需求迫切。万稳实业将持续深化产学研合作，拓展合作院校与科研机构范围，聚焦更前沿的技术方向，例如 12 英寸大尺寸晶圆抛光液、原子层抛光材料、环保型无铬抛光液等，加快核心技术攻关与成果转化，推出更多高性能、高性价比的国产 CMP 耗材，为国内半导体产业自主可控提供技术支撑。
