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深圳万稳实业发布驰明普全系列 CMP 抛光液,深耕国产半导体抛光材料

发布时间:2026-05-27      来源:网络


在国内半导体产业加速自主化发展的大背景下,半导体化学机械抛光(CMP)作为芯片制造核心制程,配套抛光液材料的国产化进程备受行业关注。近期,坐落于深圳市南山区的深圳万稳实业有限公司,正式对外推出旗下驰明普(CHAMPPRO 全系列 CMP 抛光液产品矩阵,多款新品同步落地,覆盖半导体晶圆、光学材料、超硬材料、精密金属等多个应用领域,凭借自研配方技术与成熟生产工艺,为国内制造企业提供高性价比、高性能的一站式抛光解决方案。

作为深耕 CMP 材料领域多年的本土企业,深圳万稳实业始终聚焦抛光液研发、生产、销售与技术服务一体化运营。本次发布的全系列产品包含硅片 CMP 抛光液、蓝宝石抛光液、陶瓷材质抛光液、金属专用抛光液、金刚石悬浮抛光液以及 CMP 配套后清洗液六大主力品类,全系产品遵循高纯度、低损伤、高稳定性的研发标准,从原料甄选到生产灌装均在十万级洁净车间内完成,严格把控产品品质,对标国际一线品牌技术指标。

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其中驰明普硅片CMP抛光液是本次主推核心产品,专门针对 8 英寸、12 英寸半导体硅片粗抛、精抛制程研发。产品采用纳米级胶体二氧化硅磨料,磨料粒径分布均匀、团聚率极低,搭配自主复配的助剂体系,在保证较高材料去除速率的同时,能有效降低硅片表面划痕、雾面、凹坑等缺陷。经过多家晶圆制造企业上机实测,该产品可稳定满足 28nm 及以上成熟制程芯片的生产要求,也可适配先进封装环节的抛光作业,表面粗糙度可稳定控制在纳米级别,大幅提升晶圆成品良率。

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面向 LED 产业、光学仪器领域的蓝宝石 CMP 抛光液,是万稳实业布局光学材料赛道的重点产品。蓝宝石凭借高硬度、高透光性成为 LED 衬底、光学窗口、摄像头镜片的核心基材,但其硬度高、抛光难度大。驰明普蓝宝石抛光液优化了磨料配比与酸碱体系,兼顾抛光效率与表面平整度,抛光后基材无明显划伤,透光性能不受影响,适配规模化量产生产线与实验室小批量试样场景。

针对碳化硅、结构陶瓷、硬质合金等超硬材料,公司推出金刚石悬浮抛光液,选用高纯度单晶金刚石微粉,结合长效悬浮配方,长时间存放不易分层、沉降,可实现超硬材料的镜面级精抛。而配套的CMP 后清洗液分为中性、弱碱、弱酸三大型号,能够高效清除抛光后工件表面的磨料颗粒、有机残留与微量金属离子,不腐蚀基材,简化清洗工序。

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深圳坐拥全国顶尖的半导体与精密制造产业集群,区位优势显著。深圳万稳实业依托地域产业资源,组建专业研发团队,坚持核心配方自主研发,摆脱对外资材料的依赖。目前公司不仅提供标准化抛光液产品,还可根据客户设备参数、加工材质、工艺要求提供定制化配方服务。此次全系列产品的正式面世,进一步丰富了国产 CMP 抛光液供给,未来企业也将持续加大研发投入,迭代产品性能,助力国内半导体、光学、精密制造等产业实现材料自主可控。