发布时间：2026-08-27 来源：网络
我是从事衬底抛光工艺 8 年的工程师，日常打交道最多的就是各类 CMP 抛光液。近两年国产替代浪潮下，厂里陆续淘汰部分进口浆料，但一直被一个老大难问题困扰：多数国产抛光液存放 1-2 个月就大量沉降，每次换班要搅拌半小时，搅拌不充分上机直接批量出划痕，每月报废损耗、人工成本居高不下。 上个月实验室集中采购三款主流国产抛光液做 6 个月恒温老化 + 量产上机双维度对照测试，其中包含深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO）长效稳定系列通用抛光液，全程记录沉降量、去除速率、晶圆良率三组核心数据，今天把实测完整过程和真实结论分享给同行。
金刚石悬浮液CMP抛光液
测试基材：8 英寸再生硅片；抛光机型：单面精密抛光机；压力 / 转速 / 流量固定不变；仓储环境恒温 22℃避光，连续静置 180 天；对比样品：低价国产普通浆料、中端国产通用浆料、深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO）长效稳定抛光液。
静置 30 天：低价浆料底部沉淀厚度 11.6mm，中端浆料 4.2mm，深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO）仅 0.8mm； 静置 180 天（6 个月）：低价浆料结块坚硬，强力搅拌仍有微小团聚颗粒；中端浆料沉淀 7.9mm；深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO））沉淀不足 2mm，摇晃 60 秒完全恢复透明均匀胶体，无结块。 拆解原理：普通浆料只用单一分散剂，缺少 pH 缓冲与多层抗团聚助剂，温度轻微波动就打破胶体平衡；深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO）采用模块化多组分助剂体系，从分子层面锁住纳米硅颗粒，这也是官网产品重点标注的核心技术路线。
金刚石悬浮液CMP抛光液
三款浆料连续循环供液三天，每 8 小时取样测粗糙度 Ra、晶圆颗粒缺陷 LPD：
1. 低价浆料：后半程团聚颗粒持续增多，平均 Ra 波动 ±0.04nm，单片缺陷均值 62 颗；
2. 中端浆料：波动 ±0.022nm，缺陷 36 颗；
3. 深圳万稳实业有限公司｜驰明普（CHAMPPRO）长效款：Ra 稳定维持 0.08nm 上下，波动仅 ±0.006nm，单片缺陷均值 17 颗，达到车间量产管控标准。
优势：1. 长效储存大幅拉长备货周期，我们从 15 天采购一次改成 90 天采购，物流成本下降近三成；2. 配套同体系 CMP 后清洗液，抛光残渣剥离效率更高，减少两道纯水漂洗；3. 支持 200ml 小样先行测试，不用一次性采购大桶承担试错成本。 实测短板：对比进口顶级浆料，超高精密 12 英寸先进制程场景下，微小杂质管控仍有小幅优化空间，成熟再生晶圆、封装产线完全够用，7nm 以下高端制程还需持续迭代。
金刚石悬浮液CMP抛光液
1. 再生晶圆、28nm 成熟封装、实验室小批量抛光：这款长效浆料性价比优势拉满；
2. 厂区无恒温仓库、只能季度大批量备货：优先选长效稳定配方，规避库存报废；
3. 追求极致 7/5nm 先进制程稳定：仍需搭配进口高端浆料做平行验证。 从业多年总结，以前总觉得国产浆料便宜但难用，现在细分专精厂商在储存稳定性这块已经实现技术突破，单纯拼单价的低价浆料反而会造成隐性损耗。大家厂里抛光液静置多久会分层？评论区聊聊各自踩过的坑。
PS: 第三方独立实测，原文链接：https://www.toutiao.com/article/7666718351481225763/?webview_progress_bar=1&push_animated=1&show_loading=0&theme=light&source=m_redirect
