产品简介
硅溶胶是无定形二氧化硅在水中的分散体系,外观多呈半透明或乳自溶液状。JNS型硅溶胶是万稳实业研究中心生产的新一代产品。该产品生产工艺先进,检测手段完备,原材料选用严格,可以根据客户需求选择不同的浓度和粒径范围,质量可靠,性能稳定,居国内先进水平。
主要特点
本产品硅溶胶粒径可控,分散度小、纯度高、稳定性好,用于硅材料表面超精密加工可以达到高平整、低粗糙、易清洗的效果。
主要用途
该产品主要应用于硅材料的初抛~精抛抛光工艺。
基本参数
| 产品型号 | CPN5 | CPN40 | CPN60 | CPN100 |
| SiO2浓度(%) | 20±2 | 40±2 | 40±2 | 40±2 |
| pH值 | 10.1~10.7 | 9~10 | 10~ 11 | 10~ 11 |
| 比重 | 1.11~1.14 | 1.268 ~ 1.30 | 1.268 ~ 1.30 | 1.268 ~ 1.30 |
| 平均粒径(nm) | 4~6 | 30~40 | 60~90 | 100~120 |
| 分散度(PDI) | / | <0.30 | <0.10 | <0.10 |
| 粘度(mPa.s) | ≤5 | <10 | <10 | <10 |
| 氧化钠含量% | 0.5~ 1.0 | <0.3 | <0.3 | <0.3 |
| 外观 | 半透明 | 乳白 | 乳白 | 乳白 |
使用方法
用去离子水 1:5~1:20,稀释后使用。
运输及保存
1、运输与存放过程中要避免阳光直射。
2、建议储存温度为5℃~35℃。
3、保质期一年,建议半年内使用。
效果呈现
硅片抛光后AFM形貌(Ra=0.081nm)
