CMP抛光液 CMP后清洗剂 抛光材料

硅片精抛液

产品简介

硅溶胶是无定形二氧化硅在水中的分散体系,外观多呈半透明或乳自溶液状。JNS型硅溶胶是万稳实业研究中心生产的新一代产品。该产品生产工艺先进,检测手段完备,原材料选用严格,可以根据客户需求选择不同的浓度和粒径范围,质量可靠,性能稳定,居国内先进水平。


主要特点

本产品硅溶胶粒径可控,分散度小、纯度高、稳定性好,用于硅材料表面超精密加工可以达到高平整、低粗糙、易清洗的效果。


主要用途

该产品主要应用于硅材料的初抛~精抛抛光工艺。


基本参数

产品型号CPN5CPN40CPN60CPN100
SiO2浓度(%)20±240±240±240±2
pH值10.1~10.79~1010~ 1110~ 11
比重1.11~1.141.268 ~ 1.301.268 ~ 1.301.268 ~ 1.30
平均粒径(nm)4~630~4060~90100~120
分散度(PDI)/<0.30<0.10<0.10
粘度(mPa.s)≤5<10
<10<10
氧化钠含量%0.5~ 1.0<0.3<0.3<0.3
外观半透明乳白乳白乳白


使用方法

用去离子水 1:5~1:20,稀释后使用。


运输及保存

1、运输与存放过程中要避免阳光直射。

2、建议储存温度为5℃~35℃。

3、保质期一年,建议半年内使用。


效果呈现


硅片抛光后AFM形貌(Ra=0.081nm)

抛光对比图119.png